isotrop vs anisotrop etsning

Forskjellene mellom isotrop og anisotrop etsning har å gjøre med formen som de hugger ut under etsemasken. Anisotrop etsning er når plasmaetsningen er vinkelrett og skjer i en retning, mens isotrop etsning oppstår når plasmaetsningen er i alle retninger.

1. Hva er anisotrop etsning?
2. Er våtetsing isotrop?
3. Er tørretsing anisotropisk?
4. Hva er forskjellen mellom våtetsing og tørretsing?
5. Hva er typene etsning?
6. Hva brukes plasmaetsing til?
7. Når etseselektiviteten er høy, betyr det?
8. Hvordan kontrollerer du etsning?
9. Hvorfor er etsing nødvendig?
10. Hva kan forårsake etsehendelsen i tørretsing?
11. Hva er silisiumetsing?
12. Hva er meningen med etsning?

Hva er anisotrop etsning?

Anisotrop etsning er en subtraktiv mikrofabrikasjonsteknikk som har som mål å fortrinnsvis fjerne et materiale i spesifikke retninger for å oppnå intrikate og ofte flate former. Våte teknikker utnytter de krystallinske egenskapene til en struktur til å etse i retninger styrt av krystallografisk orientering.

Er våtetsing isotrop?

Våt kjemisk etsning er generelt isotrop, selv om det er en maske siden det flytende etsemidlet kan trenge inn under masken. Siden retningsbestemthet vanligvis er viktig for overføring av mønster med høy oppløsning, brukes normalt ikke våt kjemisk etsning.

Er tørretsing anisotropisk?

Tørr etsning er vanligvis en anisotropisk prosess der momentet til ionearter som akselererer mot substratet i kombinasjon med en maskeringsprosess, brukes til å fysisk fjerne og etse målmaterialene.

Hva er forskjellen mellom våtetsing og tørretsing?

Tørr og våt etsning er to hovedtyper av etsingsprosesser. Disse prosessene er nyttige for fjerning av overflatematerialer og for å lage mønstre på overflatene. Hovedforskjellen mellom tørretsing og våtetsing er at tørretsing gjøres i en flytende fase, mens våtetsing gjøres i en plasmafase.

Hva er typene etsning?

Generelt er det to klasser av etsingsprosesser:

• Våt etsning der materialet er oppløst når det nedsenkes i en kjemisk løsning.
• Tørr etsning der materialet sputteres eller oppløses ved bruk av reaktive ioner eller et dampfase-etsemiddel.

Hva brukes plasmaetsing til?

Plasmaetsing brukes til å 'ruve' en overflate i mikroskopisk skala. Komponentens overflate er vanligvis etset med en reaktiv prosessgass som gir både en kjemisk og fysisk effekt på overflaten.

Når etseselektiviteten er høy, betyr det?

Høy selektivitet er et relativt begrep for å beskrive når to materialer etser med signifikant forskjellige etserater for å gi ønskede resultater. Ofte refererer det til tilfeller der masken etser sakte sammenlignet med materialet som er mønstret med etsingen.

Hvordan kontrollerer du etsning?

Våt kjemisk etsning er isotrop og produserer avrundede mikrovegger av sidevegg. Sideveggens form og vinkel kan justeres ved å påføre titan som en tilbaketrekkende maske under våtetsing (fig. 1.5) (Pekas et al., 2010). Kanalens dybde styres av etserate og etsingsvarighet.

Hvorfor er etsing nødvendig?

Etsing brukes til å avsløre mikrostrukturen til metallet gjennom selektivt kjemisk angrep. Det fjerner også det tynne, svært deformerte laget som innføres under sliping og polering. I legeringer med mer enn en fase skaper etsning kontrast mellom forskjellige regioner gjennom forskjeller i topografi eller reflektivitet.

Hva kan forårsake etsehendelsen i tørretsing?

Tørr etsning refererer til fjerning av materiale, typisk et maskert mønster av halvledermateriale, ved å utsette materialet for et bombardement av ioner (vanligvis et plasma av reaktive gasser som fluorkarboner, oksygen, klor, bortriklorid; noen ganger med tilsetning av nitrogen, argon, helium og andre gasser) det ...

Hva er silisiumetsing?

INTRODUKSJON. Etsing refererer i sammenheng med denne boken til oppløsningsprosesser som ensartet eller fortrinnsvis fjerner materiale fra silisiumkrystaller nedsenket i en løsning. Etsing av silisium har blitt utforsket grundig på grunn av dets nyttige bruksområder for produksjon av elektroniske enheter.

Hva er meningen med etsning?

transitive verb. 1a: å produsere (noe, for eksempel et mønster eller design) på et hardt materiale ved å spise i materialets overflate (som med syre eller laserstråle) b: å bli utsatt for slik etsing. 2: å avgrense eller imponere tydelig scener etset i våre sinn smerte ble etset på hans funksjoner.